2.根據要求1所述一種PVD涂層用離子刻蝕清洗工藝,其特征是:所述步驟(c)中調整偏壓電源參數對應于上述通入反應氣體和控制氣體流量中依次四個步...
PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”縮寫形式,意思是物理氣相沉積。現在一般地把真空蒸鍍,濺射鍍膜,離子鍍都稱為物理氣相沉積。 較為成熟 PVD 方法...
PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”縮寫形式,意思是物理氣相沉積。現在一般地把真空蒸鍍,濺射鍍膜,離子鍍都稱為物理氣相沉積。 較為成熟 PVD 方法...
